SEMI发布半导体制造5项新标准
导 读:
semi日前发布五项新的半导体制造技术标准。这些标准由来自设备与材料供应商、器件制造商以及其他参与semi国际标准项目厂商的技术专家们开发制定,可通过购买cd-rom或在semi网站上下载获得。
semi标准每三年发布一次。这些新的专利作为2008年11月版的一部分,加入到过去35年中semi已发布的775个标准中。
“这些新的semi标准是基于产业专家们的合作与共识而制订的。”semi国际标准主管jamesamano说道,“这些标准的执行将帮助厂商应对日益增加的制造挑战,改善收益率,并实现设备工艺的全球化兼容。”
五项标准分别是:
semie139.3
xml/soapbindingforrecipeandparametermanagement
(配方和参数管理的xml/soap结合)
semig87
specificationforplastictapeframefor300mmwafer
(300mm晶圆塑料带框规格)
semim73
testmethodsforextractingrelevantcharacteristicsfrommeasuredwaferedgeprofiles
(由标准晶圆边缘提取相关特征的测试方法)
semim74
specificationfor450mmdiametermechanicalhandlingpolishedwafers
(450mm抛光晶圆机械搬运规格)
semit20
systemarchitectureforpreventing/detectingsemiconductorcounterfeitproducts
(半导体仿冒品防止/探测系统架构)
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标题:SEMI发布半导体制造5项新标准 地址:http://www.zgshouguang.cn/article/4454.html
